精密加工技術(shù)：超精密導軌及空氣靜壓軸承技術(shù)
文章來源：中國通用技術(shù)（集團）控股有限責任公司 發(fā)布時間：2023-05-20
成果93：超精密導軌及空氣靜壓軸承技術(shù)
【所屬領域】關(guān)鍵零部件
【中央企業(yè)名稱】中國通用技術(shù)（集團）控股有限責任公司
【成果簡介 】
本成果面向超精密加工技術(shù)與裝備需求，對兩類超精密關(guān)鍵功能部件技術(shù)產(chǎn)品展開攻堅。開展了多孔質(zhì)節(jié)流雙半球氣體靜壓軸承設計、制造及裝配工藝技術(shù)研究，掌握了超精密氣體靜壓主軸伺服控制技術(shù)。發(fā)明了一種全約束式超精密液體靜壓導軌單元結(jié)構(gòu)，突破了雙膜片節(jié)流型靜壓滑塊設計技術(shù)，掌握了液體靜壓導軌裝配工藝和伺服控制技術(shù)。本成果技術(shù)難度大、創(chuàng)新性強，自主研制的超精密氣體靜壓主軸和液體靜壓導軌總體上達到國際先進水平，其中液體靜壓導軌全行程直線度指標達到國際領先水平。
【主要指標】
（一）主軸回轉(zhuǎn)精度：≤25nm
（二）主軸轉(zhuǎn)速：≥3000r/min
（三）導軌直線度：≤0.2μm/200mm
【應用推廣需求】
（一）應用推廣方式：銷售、轉(zhuǎn)讓、合作實施、其他
（二）應用推廣領域：航空航天、光學、半導體、消費電子等領域中精密光學元件、復雜結(jié)構(gòu)件的超精密生產(chǎn)制造與檢測。?
【成果圖片】
